新闻中心

2026年初盘点国产电镜之“五胡十六国”,暨国产半导体晶圆电子束量检测及电子束曝光设备琅琊榜(中)
2026-04-27 11:18:55
在步入中集“五胡十六国”之旅前面,我们先关注下一条周末刚实锤的时政新闻:
2025年12月31日,国内半导体设备龙头中微公司(688012.SH)公告重大资产重组方案:拟通过发行股份及支付现金方式收购了杭州众硅电子科技有限公司64.69%股权,实现对其控股。交易涉及41名交易对方(包括杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅等机构);
杭州众硅是国内少数掌握12英寸高端CMP(化学机械平坦化抛光)设备核心技术并实现量产的企业,是行内头部企业,电镜同仁对其不是很熟悉,要不是当年它差点成功收购聚束科技,工作室对其也不知名;

很明显,此次收购的核心战略价值在于补齐中微公司半导体前道工艺设备的最后一块关键拼图;交易完成后,中微公司将成为国内少数具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法” 四大前道核心工艺能力的平台型设备厂商;

但工作室说,此次中微版图虽有进步,但还是缺少了关键的电子束量检测设备和技术;如果当年众硅并购聚束科技成功,以聚束冠绝的电子束技术实力,再通过中微的并购,那才将真正改写国内半导体晶圆电子束量检测设备和技术的分布格局;

 

中微半导体 amec-inc.com

中微半导体作为老牌半导体大厂,于2024年启动了电子束量测设备的研发团队,中微董事长尹志尧也在各媒体积极宣传中微进军电子束量测产业;

从中科飞测和中微半导体两家大厂决然下场进军开拓半导体电子束量检测设备的行动,我们可以看到国内半导体电子束量检测设备领域的开发正在进入了一个以大厂甚至国家队为主导的市场环境.

除了行业奇缺的电镜相关各类人才,对资本市场而言,“真国产”赛道上的关键零部件供应链,以及关键工作流工序环节将成为投资与并购的热点,驱动产业链加速成熟,就像中微这次并购一样.

完善的产业链才是国产电镜得以生存和发展的基石;因此,在这一期的“五胡十六国”2025年回顾中,我们将聚焦视角,关注国产电镜的关键部件供应链及应用工作流的各个厂家.

德锐特成像 drtem.cn

国产透射电镜是如此高端和稀缺,它的关键部件重要性在其模组供应链中的重要性理应排在首位;专注透射电镜关键模组-相机的苏州德锐特就处于这样的地位;
德锐特始终致力于高端科研相机的自主研发,近年来持续加大技术投入,逐步构建起涵盖生物、材料、化学等多学科方向的综合科研服务体系;
德锐特最新“4D-STEM软件”的成功推出,不仅为透射电镜技术相关人才搭建了系统的知识体系,也进一步促进了科研理论与应用的紧密结合;
德锐特同时推出的“Single Particle 叠层成像计算”解决方案,不仅能高度适配德锐特自主研发的直接电子相机Timepix3-“黄山”,同时也兼容市场主流其它4D-STEM相机品牌;
作为国产电镜目前唯一的高端相机厂家,德锐特自出道就展露出它国际化的风范;德锐特不仅积极参与各大国际性高端电镜相关展会,且其相关技术报告与国际渠道高度接轨,在国内及海外市场接受度很高;
这也决定了国产透射电镜的关键模组-相机及其成像系统的发展将领先于透射电镜整机的孵化,这将为透射电镜整机的全面国产化奠定坚实的基础。
图片

泽攸科技 zeptools.com 

泽攸科技在2025年取得的进步如此之大,简直让工作室快认不出来了;

自近十年前出道以来,泽攸科技的国产台式电镜销量已经成长为国内前茅,海外第一的地位;没有泽攸科技的国产电镜版图已经不再完整;

台式电镜的占地面积小、易于使用、精度高、出结果快、成本低,等这一系列优点,让其在这几十年,特别是疫情后的发展历程中大行其道,成为众多电镜应用场景的首选;

在这个国产台式电镜的历程中,泽攸占据了数个国内首位:2025年泽攸首先推出了15kV电压下优于2.5nm分辨率的国产场发射台式扫描电镜;

图片
台式电镜厂家林立:飞纳Phenom  (Thermo Fisher),日立Hitachi HiTec,日电JEOL,Coxem,Hirox Europe,ROWACO (Sec),Seron  Technology,Pemtron,EMCRAFTS,ModuleSci,FusionScope,Delong  Instrument,Semplor(Phoenix),在全球诸多台式电镜厂家的激烈竞争中,泽攸科技能够脱颖而出,足见其产品定位定有其可取之处;
2025年泽攸科技立足台式,进军立式常规电镜,首先推出了使用LaB6热游离灯丝的常规科研电镜,标称在30kV下实现了优于2.5nm的分辨率;
图片
精加工电子产品的市场需求也让泽攸从电子束成像向着微纳加工的方向迈进:泽攸科技的ZEM系列扫描电镜开始与电子束曝光EBL关键模组图像发生器搭配,集成20位超高精度控制电路以及自研自动化算法,将电子束这类基于物理原理的基础产品推向了工程应用的极致;
自研并推出电子束曝光用图形发生器硬件,以及界面软件和自研算法的这一组合产品的最高形式,是决定了为什么工作室把泽攸科技划归电镜关键模组供应链厂家一组的原因之一;
图片
另一个原因是泽攸科技在创立之初的另一条产品线:透射电镜关键模组-样品杆;这条产品线是泽攸压箱底的法宝,从简单逆向发展至今已经完成全面“原位化”转型,完全适应了高端透射电镜应用的需求;这里更不用提泽攸的扫描电镜各类原位附件产品了;
泽攸科技最大的特色是其解决方案化产品线的全面性,只要电镜上会用到的附件产品,不论是扫描的还是透射的、简单的还是复杂的、传统的还是高端的,泽攸几乎应有尽有;这也是工作室对其核心竞争力的评价。
百实创科技 bestronst.com 
百实创科技也是国产透射电镜关键模组-原位样品杆厂家中的佼佼者,也是国产电镜出海的坚定践行者;
 
图片

金竟科技 goldenscope.com.cn 

金竟科技在2025年调整了产品重心,从原来以扫描电镜应用高端附件阴极荧光检测系统,和电镜工作流样品制备低温冷台系统为主要产品线和解决方案的发展方向,转向为以“电子束”技术为核心,应用于开发自研检测与加工场景的设备;而起初主推的“荧光探测”和“低温”则退居成为延伸技术;
 
金竟科技自主研发的电子束曝光机用图形发生器及其软件系统,搭配扫描电镜,以电子束曝光机整机形式售卖,产品已经进入小批量生产阶段,且已为多个用户交付使用;
 
这也是为什么工作室把金竟科技划归电镜关键模组供应链和工作流解决方案厂家一组的原因。
图片

隆斯克普电子科技 longscope.com.cn 

隆斯克普的冷冻传输产品线适配范围广泛,操作智能化,是一款定位准确,制作精良的电镜工作流高端系列化附件;
 
坐落于长三角常州的隆斯克普看准了冷冻平台是未来电镜术的基础功能和发展方向,他们准确的眼光得到了业界和终端用户的回报;
隆斯克普也在积极开发如透射电镜样品杆原位系统等产品线,以更全面地覆盖电镜应用。
 
 

艾博智业离子技术 ionbeam.cn

离子抛磨和减薄仪已经成为材料科学家观察微观结构的刚需和标配;工作室曾在2024年初对2023年国内各家离子抛磨和减薄仪的销量开展调研,结果为350台上下: 日电Jeol约80台,日立 Hitachi约90台,微纳 fischione也名列第一在90台上下,老牌徕卡Leica microsystems约50台,另一老牌Gatan约20多台,复纳的 Technoorg linda 于2023年年中刚引进,到年底已卖了20多台,市场推广平稳后预计一年销量将在50台上下;
按离子束制样设备最大的使用者-电镜的官方招标数据的年化增长率25%来平推计算:2024年国内整体销量应该在440台上下,而2025年应该在550台左右;按每台平均15万美元计算,这是一个规模在每年接近一亿美元的市场;
作为目前国内唯一量产的电镜关键工作流工具-离子束抛磨和减薄设备厂家,艾博智业的核心竞争力在于其来自于两代四十年的离子束技术积淀的对离子束技术的深刻理解。
 

雷博科仪 leboscience.cn

就像离子束抛磨和减薄设备在材料科学应用中的地位一样,超薄切片机在电镜生命科学应用方向上,也是不可或缺的关键制样工作流核心设备;
 
UM10超薄切片机问世之后,其荣获了“2023年度科学仪器行业优秀新品”奖项。2025年,雷博科仪以更卓越的性能和更人性化的设计打造并推出了其升级版本;
雷博科仪的超薄切片机自面世以来,便以其目前国内唯一的高端电镜工作流超薄切片设备赢得了生命科学学者的认可;雷博科仪产品定位准确,质量稳步提升,市占率将会越来越大。
 
image.png
 
image.png
 
image.png

迈科英诺 shmicroinno.cn

上海迈科英诺科学仪器有限公司(MicroInno)虽是一家新晋势力,它也是著名集群进口电镜品牌代理商-上海微纳的姊妹公司;
除了代理Semplor,迈科英诺同时也致力于国产电镜相关设备的开发,目前已经在积极开发以临界点干燥、等离子清洗、离子束抛磨等先进电镜制样设备、透射电镜原位分析及样品转移样品杆和扫描电镜原位冷冻及样品转移系统多条产品线,同时也提供以上产品线的定制开发服务;
迈科英诺目标远大,力求能一站式解决国内广大电镜科研工作者特殊实验方案需求;
参看上海微纳在疫情后的快速崛起,迈克英诺的布局应该早有规划;我们也不难看出,上面我们提及的各大国产电镜关键模组供应链和核心工作流附件厂家,从能拿出一流透射电镜相机和成像系统的德锐特,到能制造比肩进口品质的透射电镜样品杆和扫描电镜原位台的包括泽攸科技在内的多个厂家,再到生产高端阴极荧光探测系统的金竟科技,智能化冷冻传输系统的隆斯克普,材料样品制备刚需离子束抛磨减薄设备的艾博智业,以及极有可能后来居上的迈科英诺,无一不在把之前号称电镜“附件之王”美国Gatan公司的产品线“一锅端”,分食殆尽并拓展升级;
而被Ametek并购之后的Gatan,则在国内和全球市场受到全面挤压,早已丧失了之前的垄断地位,这从它不断收缩产品线动作也旁证了这一点。

格蓝若精密 glroad.com

在电镜应用中,每一纳米的振动,都可能“吃掉”宝贵的分析信息;在芯片制造中,1nm的套刻误差,足以导致5%—10%的良率损失;在电镜应用中,振动控制已不再是“辅助功能”,而是直接影响工艺精度与产品良率的核心环节;
格蓝若精密主动减振系统,以其极佳的宽频抑振能力,为带电粒子束各类应用提供了稳定、低振动的设备环境;
相较进口减振设备,格蓝若精密主动抑振系统不仅能满足苛刻的减振需求,同时还兼具经济性,高效能和良好的售后服务等优势;
格蓝若精密主动减振系统起点很高,目标市场明确,是新一代现代化的高科技行业头部厂家,标志着国内在精密抑振领域实现从跟跑到并跑的关键一步。

昇龙机电 SLONG.com.cn

电镜不仅像其他类显微镜一样对环境机械振动敏感,其对环境内杂散电磁场的要求也很严格;实验室中的杂散电磁场会干扰电子束的运行轨迹,是电镜分析的隐形杀手;消除杂散电磁场不仅是电镜实验室环境建设的刚需,更是痛点和难点;
 
昇龙机电自2010年成立以来,便立足于创新,走出了一条不同寻常的发展之路;在没有外部资金支持、没有参考资料、没有技术借鉴的条件下,昇龙机电团队凭借对电磁学基本原理的掌握,成功研发并持续迭代了超低频消磁器和算法软件系统,并完成众多实验室的交付;
上海昇龙科技是国内研发该类产品的唯一厂商;2026年昇龙机电自主研发的第六代低频消磁器SG 6xx系列即将正式面市。

康尔斯特电磁屏蔽 whestc.cn

武汉康尔斯特电磁屏蔽可以提供从核心的磁屏蔽装置到全套的环境评测与解决方案,是一家致力于从根源保障电镜稳定运行的科技型企业;

康尔斯特具备在不同学科、不同应用场景下解决实际环境难题的过硬实力,以其专业团队对生命科学实验室,和材料科学中心对抗振动与磁场的的恒温无扰环境建设的极致追求,业务遍及全国,拥有广泛的服务网络和众多成功案例;

图片

中镜科仪 emcn.com.cn

中镜科仪是国内首屈一指的电镜实验室基础仪器和耗材生产和销售厂家,其自主研发的支持膜制备技术处于国内领先水平,膜系列产品出口多个国家,是国内电镜分析实验室的坚实后盾;
如下,中镜科仪官网下的“电镜商城”品类应有尽有,工作室强力推荐前往选购。
图片

速普仪器 suproinst.com

要数电镜制样工作流关键仪器-镀膜仪的国产头部厂家,那非速普仪器莫属;
速普仪器是率先突破量产门槛的电镜制样类自主研发型厂家,其产品技术先进,工艺精湛,质量可靠,在海外市场开拓上也积极投入,是国内电镜制样类仪器的楷模和骄傲;
速普仪器推出的双靶型磁控溅射镀膜仪,特别适用于高分辨/超高分辨场发射扫描电镜,和易损伤样品的应用场景:其旋转偏转样品台加双靶倾角设计,使得三维样品覆盖更均匀,速率慢,颗粒小,损伤小;其特色Pt-Au叠层配方,可以抑制荷电,减小损伤,兼顾颗粒度,其分次镀膜工艺,使形核更小,对样品形貌的覆盖小,损伤更小;其样品通用性强,可兼容普通样品,3D粉末样品及易损伤样品等各类样品场景,特别有利于样品种类繁多的第三方测试平台,学校测试平台和企业等提升电镜测试效果;
速普仪器低调务实,其实干的风格收获了众多国内外电镜实验室和终端用户的好评;2026年速普仪器将有新型仪器推出,这将是国内外电镜用户的福音。
图片