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2026年初盘点国产电镜之“五胡十六国”,暨国产半导体晶圆电子束量检测及电子束曝光设备琅琊榜(上)
2026-04-14 17:50:00

2025年的国产电镜琅琊榜尤为不同,科研高校的实验室用途的仪器类级别有所增长,工业、第三方平台特别是半导体产业专业用途的设备级电镜进步更大;没有工业界的榜单是不真实的,这次的“五胡十六国”将按科研仪器及半导体产业各家于一年中的进步为导向叙述。

在开始这一期的“五胡十六国”之旅前,我们先看下2025年国内扫描电镜的中标数据;分析测试百科网曾在三季度时有过一批数据:
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和2024年一样,工作室得到的数据与分析测试百科网的相差甚大;
首先说明,此套数据覆盖截止到2025年12月31日,只记录了有据可查的每一个中标链接,实际中标数据因为检索关键词不同要比这套数据数量更多;
 
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可以看出,今年投标市场共售出各类扫描电镜和聚焦离子束电镜约500台,其中扫描电镜占420台上下,聚焦离子束双束电镜占80台左右;这个售出台数的数字要比2024年增长约25%;近期刚获批上市募资的国仪量子在售出台数上超越其余包括所有进口单个厂家;国产扫描电镜及聚焦离子束双束电镜已经成为国内用户最多的选择;
同时我们也看到,在竞争最为激烈的场发射扫描电镜一类,国仪量子、日立高新、ZEISS和赛默飞胶着不下;台式电镜市占飞纳仍暂居榜首;而在技术门槛最高的聚焦离子束双束电镜,特别是包括多束pFIB和冷冻双束一类上,赛默飞稳占优势;
从采购用户地域来看,我们得到了非常耐人寻味的分析结果:采购国产电镜的用户有超过八成来自顶级科研学府扎堆的国内一线城市和省份,而进口电镜品牌则更容易为二三线甚至更小经济体量的城市和省份所选择;这里面,数ZEISS在经济欠发达的中小城市扫描电镜的市占率为最高;
不难看出,越是在一线科研单位的一批对高端电镜越有了解,技术上越有实力把控,在定制需求越为突出的实验室和学者,对国产电镜的接受率就越高;
而当学者自身对电镜仪器技术了解越少,对高端定制化需求越低,对仪器采买失败害怕被追责越为保守的地区性机构,更容易接受大牌溢价采购进口品牌,用以对冲平衡自身对高端仪器不够了解、和对个人实力把控不够自信的所谓风险;
据此,工作室有理由推断:随着国产高端电镜的进一步开发,随着其在售后服务体系更加完备及更加贴近用户,和绝不以盈利为目的的售后理念的坚定执行下,
随着各级学者对国产电镜的了解程度提升,其主流产品将进一步获得学者及其实验室的信任和青睐,将获得更大的市场份额;
而进口品牌的电镜,将随着其技术优势的逐步下降,越来越高昂的售后维护收费体系,对国内学者需求定制应对的一贯消极态度,其市占率将进一步向技术更为领先的更小区域如pFIB退行缩小,直至最后丧失市场堡垒;
国产扫描电镜市占率节节攀高,电镜的另一块领地透射电镜,国产阵营也将迎来如广州慧炬、国仪量子、和苏州博众的一众挑战,重回国产透射电镜在一个甲子前的巅峰;
了解了2025年的销售排行榜,在我们开启这次的国产电镜五胡十六国之旅前,我们还需要先回顾一下国产仪器所处的政策大环境:
众所周知,本国产品标准是政府采购政策体系中最基础,也是技术复杂程度最高的一项政策;出台本国产品标准和相关支持政策,是世界主要经济体的通行做法;
长期以来,仪器行业对于“国产”的定义模糊不清,导致在政府采购中打“擦边国产”的情况时有发生;
2024年12月5日,财政部公开发布《关于政府采购领域本国产品标准及实施政策有关事项的通知(征求意见稿)》,明确了本国产品适用范围、支持政策及定义,带来了从“倡导“转变为“要求”的实质性变化;
在向社会公开征求意见这段时间,为充分听取各类经营主体的意见和诉求,财政部会同工业和信息化部、商务部等部门召开相关座谈会20余场,共计与60余家内资企业、200余家外资企业、20余家协会商会进行面对面沟通交流,对政策初衷和内涵作了详细解释,广泛听取各方意见。结合各方面反映的意见和建议,财政部对《通知》草案作了修改完善,并通过了有关部门开展的公平竞争、合法性等审查;
2025年9月30日,国务院办公厅发布《关于在政府采购中实施本国产品标准及相关政策的通知》;这份定于2026年1月1日起施行的文件首次明确了政府采购中“本国产品”的定义标准、价格优惠政策和执行机制,也意味着“中国制造”从口号走向了可核算、可验证的阶段;
这次文件的出台正式从国家层面明确了“何为本国产品”;具体来看,本国产品需在中国境内实现“从原材料、组件到成品的属性改变”,需满足三大条件:
一要物理底线:境内完成实质性生产;即简单的包装、贴牌、分装、上漆、磨光等“伪国产”不算境内生产;
二要价值要求:境内组件成本占比达规定比例;根据此项标准认定“本国产品”,考察的不是组件的数量,而是“组件成本”;
其设定初衷在于:一方面,能够有效规避企业通过简单堆砌大量低价值、低技术含量的本土小部件(如螺丝、外壳、包装等),人为抬高本土组件数量占比的“伪本土化”行为,确保认定结果贴合“价值本土化”的核心导向;另一方面,由于部分设备的精密原件可能需要依赖进口,如果一刀切,要求所有原件、原材料均产自境内,产品可能性能下降甚至无法生产;
三是特定产品符合关键组件/关键工序境内完成要求;即当本国产品和非本国产品同时竞争时:对本国产品报价给予20%的价格扣除,用扣除后的价格参与评审。这意味着在评审环节,在技术评分相近的情况下,进口产品与本国产品同时报价100万元,本国产品可按80万元的价格参与评审,在同等价格条件获得更高的商务分;
这一政策将显著增强本国产品在投标中的价格优势,极大鼓励供应商提供整体化的“本国产品解决方案”,而非单个产品的替代;
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看到了国家已经把扶持国产仪器作为工作重心,吃了这颗“定心丸”,就可以开启这次的国产电镜“五胡十六国”之旅了;

苏州博众 bozhoninst.com

透射电镜是当之无愧的高端仪器皇冠上的明珠,是国产电镜最后一块大面积“沦陷”之地,任何有关透射电镜的研发成果都应该名列榜首;
苏州博众在我们的榜单中就处于这样的地位;
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2025年12月14日,苏州博众仪器科技有限公司的公众号“博众仪器”发布:其自主研发的200kV热场发射透射电镜——BZ-F200下线发货;
作为国产高端透射电镜领域今年的唯一发布之作,BZ-F200声称具备国际先进性能,其点分辨率达0.25nm,晶格分辨率达0.10nm;
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博众仪器历时五年、自报投入超两亿元攻坚透射电镜,实现电子枪、高压电源等关键部件的研发制造,并向苏州大学分析测试中心交付;
据称,2026年,博众仪器计划将向 300kV 及更高端型号持续迈进;
博众仪器成立之初确与北航姚骏恩院士的博士工作站签有合作协议,后期自我奋进,在没有任何电镜基础的支撑下,“孤军奋战”,不做台式,也不做常规扫描电镜,直接推出加速电压在200kV的透射电镜,且为场发射光源,实为披荆斩棘,能够出机难能可贵;
我们预祝苏州博众再接再厉,在新的一年里带给用户新的惊喜;
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深圳新凯来 sicarrier.com

从Semicon China 2025到CSEAC 2025上的国产半导体厂家设备展出规模的空前盛况看到,中国半导体设备在受到西方制裁后发展更加迅速,从设备到零部件完善的产业链已具规模;

在Semicon China 2025展会上,最耀眼的一定是XKL,每个参展人员都在谈论着这家公司,不是去XKL的展位的路上就是在XKL的展位前参观,如果没去这家展位几乎可以说是没参加展会;

在这次展会以前,这家公司一致披着神秘的面纱,对外处于保密的色彩,我甚至如阿Q一样想过是哪个X哪个L,是新还是芯;是来、莱还是徕;

XKL首次公开亮相,一口气发布了6大类31款半导体制造设备,覆盖刻蚀、薄膜沉积、量检测等全流程工艺,震惊了整个半导体行业;

在光刻机这一"卡脖子"环节,XKL虽然没有公开展示EUV光刻机,但其通过自对准四重成像技术(SAQP)结合DUV设备,实现了等效5nm制程,为华为麒麟芯片等高端芯片的制造提供了"备胎方案"。这一技术突破直接应用于中芯国际5nm产线,良率已超过85%  ;

在刻蚀设备领域,XKL的"武夷山"系列支持5nm以下先进制程,等离子体控制精度提升10倍,良率达85%,已通过中芯国际深圳产线验证 ;

在薄膜沉积设备方面,"阿里山"ALD设备薄膜均匀性达99.5%,对标东京电子同类产品;"长白山"CVD设备填孔缺陷率较国际竞品降低30%,支持5nm逻辑芯片制造 ;

最令人振奋的是XKL的电子束及光学量检测设备,XKL的"天门山"电子光学检测设备定位精度±2.5nm,优于ASML的±3nm;"岳麓山"系列缺陷检测灵敏度达10nm级,AI算法提升效率40%,结束了中国晶圆厂对科磊(KLA)等国际巨头的依赖 ;

这家自成立以来就处于保密并低调的公司,其公司人员到外调研及交流对于研发的产品及方向从来只了解对方的技术和产品,对自己公司的所有东西都是保密;但一亮相就是大手笔,要么一定是有新的动作,要么就是要融资。

从首次亮相部分产品推断,这家公司的产品系列名称描绘了大好河山和日月星辰,后面一定还有以江河命名以及以日月星辰命名的系列产品推出。

2019年5月,美国将H公司列入实体清单,切断其获取先进芯片制造技术的渠道。面对这一困境,H公司抽调"2012实验室"精锐力量,成立"星光工程部",主攻半导体精密装备的研发,以图突破技术封锁  。该部门汇聚了国内外半导体设备领域的顶尖专家,团队核心成员具备20年以上电子光学设备技术开发经验,为H公司的芯片制造能力建设奠定了基础;

2022年,随着美国对H公司制裁的升级,以及中国半导体产业安全需求的增加,深圳国资委通过深芯恒科技(成立于2021年7月)斥资数百亿,对深圳半导体产业进行大力扶持,XKL作为最关键的核心设备环节,在此背景下应运而生  。

XKL技术有限公司由深圳国资委全资控股,而“星光工程部”数千人团队于2022年独立并转向XKL,以H公司的模式彪悍发展。

H公司从芯片设计到制造再到设备,包含了海思、福建晋华,青岛芯恩、深圳鹏芯微、昇微旭,鹏芯旭以及XKL,形成了全产业链的模式,所以很多人问我XKL是否能成为中国的ASML,我说XKL不仅仅是ASML,而是INTEL+ASML+KLA+AMAT+HITACHI+东京电子+滨松......

这家以H公司人员为核心团队,全球招揽技术人员,更是在国内行业内将H公司的黑寡妇形象发挥到极致,依托深圳国资的资金支持,高薪挖人及技术吸收快速推出产品;

未来半导体市场H公司一家独大必成定局,在特殊时期的确为中国半导体解决卡脖子起到重要作用,但是从行业长远健康发展,不知道是祸还是福,更希望能够促进中国半导体在国际市场的竞争力;

在这次半导体设备大发展浪潮中,中国没有利用从前的举国体制,依靠某院某所做技术攻关的大跃进方式,而是政策鼓励引导下,各地多点开花,以产业方为主导的市场化实现。

不同地区发展方式和布局又各有不同,具有代表性的分别是深圳、上海、北京、江苏的苏锡常以及合肥,我们可以分别称为以上一以新凯来为代表的深圳模式:即国资出钱+H公司运营,全链条发展模式;以及上海模式、北京模式、长三角模式和合肥模式。

二是上海模式;是老牌半导体发展基地;以华虹集团为代表的半导体生产,上海微电子以及中微及上海精测的半导体设备公司发展迅速。

上海精测 pmish-tech.com

上海精测是我们“五胡十六国”琅琊榜的始发团队,是半导体晶圆电子束量检测的老牌国产厂家,这家的特色是闷声发财,从不宣传;

三是北京模式;即北京国资自己的模式;以燕东微,北方华创,京东方为主要产业,近期并购频出,但是在XKL的速度面前,应该颇有压力;

北京也有像东方晶源、中科飞测等一干民企;东方晶源也是我们“五胡十六国”榜上的起始团队中的一员,中科飞测是电子束量检测设备的新晋高手;

东方晶源 dfjy-jx.com

 

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东方晶源于2024年初正式启动HV-SEM研发项目。当年,团队便攻克了30keV着陆能量电子束成像技术,完成整体应用流程搭建与核心算法开发,并且在晶圆厂实际场景中完成验证;

2025年4月,团队成功实现45keV的高能电子束成像,核心指标达到国际头部产品水平。

2025年12月,该设备已完成在3D-NAND、DRAM和先进逻辑等高端工艺制程的应用demo测试,充分展现出针对先进工艺中3D结构的量测能力;

东方晶源老骥伏枥,持续为半导体产业提供关键支撑,可敬可贺;

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中科飞测 Skyverse.cn

2025年12月26日,中科飞测正式发布首台电子束关键尺寸量测设备(CD-SEM)MAGNOLIAEBM-600;
中科飞测集结精锐力量,组建了专业攻坚团队,面对1Xnm先进制程中的高量测精度、高一致性、光刻胶损伤控制与三维结构表征等挑战,历时数年完成了自主研发。该设备不仅精准满足客户对先进制程的高分辨、高速成像、机差控制、稳定性与量测精度等方面的严苛需求,更在提升产线效率、降低综合成本方面具有突出价值;
此次发布的电子束关键尺寸量测设备主要面向1Xnm先进逻辑及存储芯片制造中的关键制程工艺,适用于光刻、刻蚀等核心环节的关键尺寸监控,在多项性能指标上已达到甚至超越国际同类水平,展现出显著的国产替代潜力;
此次发布的电子束关键尺寸量测设备,是公司产品矩阵中首款面向电子束细分市场的重磅设备,完善了中科飞测在前道量测领域的整体解决方案。
该设备能够与中科飞测现有产品线协同,形成覆盖先进逻辑与存储芯片更为完整的良率管理解决方案,为客户提供一站式服务。
中科飞测积聚力量,后来居上,展示了半导体大厂上手关键设备开发这一模式的强大潜力;
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四是长三角模式;即政府引导给与政策支持,良好的营商环境吸引了大量的半导体企业聚集,形成了长三角半导体聚集群。

在苏锡常这片地区我们有聚焦半导体晶圆电子束量检测设备的苏州矽视和无锡亘芯悦,也有科研电镜的厂家屹东光学;

矽视科技 Siscantech.com

2025年三季度,苏州矽视科技自主研发生产的007号关键尺寸量测设备CD-SEM再次正式出机交付客户;

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苏州矽视科技深耕于半导体晶圆电子束量检测设备领域,始终致力于攻克技术难关,提升设备性能;007号机的成功出机,标志着矽视科技的技术方案日趋成熟,产品稳定性与一致性再上新台阶,能够为客户提供更可靠的量测解决方案;

亘芯悦科技  www.genxinyue.com

 
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亘芯悦科技卧虎藏龙,聚焦半导体晶圆电子束量检测方案,2025年已结束蛰伏,已经在小范围内低调出机;

 

屹东光学 yidontek.com

屹东光学是国产科研电镜的佼佼者,其首创的氩离子束场发射扫描电镜 ABSEM200的发布引发广泛关注。这款产品将氩离子束原位抛光与电子束高分辨成像巧妙结合,凭借其原位集成、大尺寸抛光、低损伤表面、高精度层切的优势,为锂电池、半导体、生命科学等重点产业的复杂样品分析提供了高效可靠的解决方案;

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小鼠大脑皮层样品大面积氩离子束抛光后的多个ROI高分辨成像结果

 

五是合肥模式;政府投资扶持形成产业聚集;合肥,已经成为特别是像长鑫、京东方这样的半导体大厂,也有像国仪量子、国镜仪器一众科研仪器电镜的生长壮大的科技沃土;

国镜仪器 ebeamst.com

国镜仪器电镜的核心技术是LaB6纳米晶冷场电子源技术,此电子源亮度在1E10 A/(m^2·sr·V)级别,能量展宽仅为0.20 eV,逸出功只为2.07 eV,工况真空度要求在~1E-7 Pa级别,工作温度在室温约300 K,引出电压只需要80~200 V;这一系列关键指标展示了国镜仪器在电镜光源上的先进性;

国镜仪器也聚焦扫描电镜低电压成像的核心部件升级,解析了以超薄B层硅光电二极管为核心的新型探测器技术,突破了低能电子探测瓶颈,为不导电材料的精准成像提供了支撑;

国镜仪器起点高,起步快,眼光准,是典型的潜力股;

国仪量子 ciqtek.com

2025年是国仪量子收获的一年,在其包括扫描电镜在内的多个产品线上都大获丰收,还获批准入股市募资;
国仪量子的各类电镜年销量已经稳定在350-400台,成为其收入贡献最大的产品线之一;
国仪量子电镜不仅成为国产电镜的标杆,还在开拓海外市场上砥砺前行,成为中国高端仪器出口的一张名片;
对于以国仪量子为代表的国产仪器企业而言,未来5-10年将是政策驱动的黄金窗口期,在过渡期内完成技术突破和市场扩张,有望抢占高端赛道的空白地带;
对于外资仪器企业来说,可通过“在中国境内生产”、“选择中国本土供应商”、“在中国境内完成关键组件、关键工序”等方式完成“本国产品”的身份转换。短期依靠境内生产满足要求,但若中长期不推动本地化布局或合资合作,将在政府采购市场逐渐失去主导地位;
对于与进口品牌合作贴牌的企业,其“本国产品”的身份会遭遇挑战,从而影响其参与政府采购的资格、优惠政策等;这也将加速该类企业和本土品牌的合作。国产电镜业界选择此类发展模式的企业的代表是纳克微束;
对资本市场而言,“真国产”赛道零部件、关键工序环节将成为投资与并购热点,驱动产业链加速成熟;
完善的产业链才是国产电镜得以生存和发展的基石;因此,在下一期的“五胡十六国”2025年回顾中,我们将继续展开视角,关注国产电镜的关键部件供应链及应用工作流的各个厂家在国家和国际巨变的大形势的应对选择和发展。