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离子束光阑

Aperture strip for FIB column

光阑条是一个条状薄片上有多个不同孔径的圆孔,通过不同的孔径限制离子束的电流强度。以实现不同离子束电流间的切换。由于离子溅射,孔径尺寸会随着时间的推移而增加。应用于聚焦离子束设备(FIB),例如:Helios 、Scios 、Quanta 、Strata400、Crossbeam 系列等。

由于离子溅射,孔径尺寸会随着时间的推移而增加。我们建议在光束电流比起始值增加 10% 时安装新的孔径条。

参数规格

长度(mm) 10~
宽度 4~
孔径(mm) Φ0.001~Φ2
孔数 1~20
 

特点

用于 FIB 的自动可变孔径光阑条 ,可针对不同的光束电流进行配置,可定制孔径,材质:钼。