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液态镓离子源

Gallium Liquid Metal Ion Source(LMIS)

本款液态金属离子源以高纯度镓为发射介质,将液态镓注入精密加工的漏斗形发射尖端,在拉出极高压电场作用下,形成稳定、聚焦性优异的镓离子束。产品专为聚焦离子束(FIB)设备设计,广泛兼容 Helios、Scios、Quanta、Strata 400、Crossbeam 等主流系列机型。

参数规格

发射束流

2 μA

寿命

≥1200 h   

稳定时长

72h

特点

采用高纯镓原料,离子束纯净稳定
提供多种规格型号,适配不同设备需求
国产自主研发,可高效替代进口同类产品